Κατάθεση
Αποκτήστε γνώσεις και επιταχύνετε τη διαδικασία ανάπτυξης.
Η Advanced Energy παρέχει λύσεις τροφοδοσίας και ελέγχου για κρίσιμες εφαρμογές εναπόθεσης λεπτών υμενίων και γεωμετρίες συσκευών. Για την επίλυση προκλήσεων επεξεργασίας πλακιδίων, οι λύσεις ακριβείας μετατροπής ισχύος που προσφέρουμε σάς επιτρέπουν να βελτιστοποιήσετε την ακρίβεια ισχύος, την ακρίβεια, την ταχύτητα και την επαναληψιμότητα της διαδικασίας.
Προσφέρουμε ένα ευρύ φάσμα συχνοτήτων RF, συστήματα ισχύος DC, προσαρμοσμένα επίπεδα ισχύος εξόδου, τεχνολογίες αντιστοίχισης και λύσεις παρακολούθησης θερμοκρασίας οπτικών ινών που σας επιτρέπουν πραγματικά να ελέγχετε καλύτερα το πλάσμα διεργασίας. Ενσωματώνουμε επίσης το Fast DAQ™ και τη σουίτα συλλογής δεδομένων και προσβασιμότητας που διαθέτουμε για να παρέχουμε πληροφορίες για τη διεργασία και να επιταχύνουμε τη διαδικασία ανάπτυξης.
Μάθετε περισσότερα για τις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών μας για να βρείτε τη λύση που ταιριάζει στις ανάγκες σας.
Η Πρόκλησή σας
Από μεμβράνες που χρησιμοποιούνται για τη χάραξη διαστάσεων ολοκληρωμένων κυκλωμάτων έως αγώγιμες και μονωτικές μεμβράνες (ηλεκτρικές δομές) και μεταλλικές μεμβράνες (διασύνδεση), οι διαδικασίες εναπόθεσης απαιτούν έλεγχο σε ατομικό επίπεδο — όχι μόνο για κάθε χαρακτηριστικό αλλά και σε ολόκληρο το πλακίδιο.
Πέρα από την ίδια τη δομή, οι εναποτιθέμενες μεμβράνες σας πρέπει να είναι υψηλής ποιότητας. Πρέπει να διαθέτουν την επιθυμητή δομή κόκκων, ομοιομορφία και σύμμορφο πάχος, καθώς και να μην έχουν κενά — και αυτό επιπλέον παρέχει τις απαιτούμενες μηχανικές καταπονήσεις (θλιπτικές και εφελκυστικές) και ηλεκτρικές ιδιότητες.
Η πολυπλοκότητα συνεχίζει να αυξάνεται. Για την αντιμετώπιση των περιορισμών της λιθογραφίας (κόμβοι κάτω του 1X nm), οι τεχνικές αυτοευθυγράμμισης διπλής και τετραπλής δημιουργίας μοτίβων απαιτούν από τη διαδικασία εναπόθεσης να παράγει και να αναπαράγει το μοτίβο σε κάθε πλακίδιο.
Η Λύση μας
Όταν αναπτύσσετε τις πιο κρίσιμες εφαρμογές εναπόθεσης και γεωμετρίες συσκευών, χρειάζεστε έναν αξιόπιστο ηγέτη της αγοράς.
Η παροχή ισχύος RF και η τεχνολογία αντιστοίχισης υψηλής ταχύτητας της Advanced Energy σάς επιτρέπουν να προσαρμόζετε και να βελτιστοποιείτε την ακρίβεια ισχύος, την ακρίβεια, την ταχύτητα και την επαναληψιμότητα της διαδικασίας που απαιτούνται για όλες τις προηγμένες διαδικασίες εναπόθεσης PECVD και PEALD.
Χρησιμοποιήστε την τεχνολογία γεννήτριας DC μας για να βελτιώσετε την απόκριση τόξου που μπορείτε να διαμορφώσετε, την ακρίβεια ισχύος, την ταχύτητα και την επαναληψιμότητα της διεργασίας που απαιτούνται στις διαδικασίες εναπόθεσης PVD (sputtering) και ECD.
Οφέλη
● Η βελτιωμένη σταθερότητα πλάσματος και η επαναληψιμότητα της διαδικασίας αυξάνουν την απόδοση
● Η ακριβής παροχή RF και DC με πλήρη ψηφιακό έλεγχο βοηθά στη βελτιστοποίηση της αποδοτικότητας της διαδικασίας
● Γρήγορη απόκριση στις αλλαγές πλάσματος και στη διαχείριση τόξου
● Ο πολυεπίπεδος παλμός με προσαρμοστικό συντονισμό συχνότητας βελτιώνει την επιλεκτικότητα του ρυθμού χάραξης
● Διαθέσιμη παγκόσμια υποστήριξη για τη διασφάλιση μέγιστου χρόνου λειτουργίας και απόδοσης προϊόντος