Κατάθεση
Αποκτήστε γνώσεις και επιταχύνετε τη διαδικασία ανάπτυξης.
Η Advanced Energy παρέχει λύσεις τροφοδοσίας και ελέγχου για κρίσιμες εφαρμογές εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης και γεωμετρίες συσκευών.Για την επίλυση προκλήσεων επεξεργασίας πλακιδίων, οι λύσεις μετατροπής ισχύος ακριβείας μας σάς επιτρέπουν να βελτιστοποιήσετε την ακρίβεια, την ακρίβεια, την ταχύτητα και την επαναληψιμότητα της διαδικασίας.
Προσφέρουμε ένα ευρύ φάσμα συχνοτήτων ραδιοσυχνοτήτων, συστημάτων ισχύος DC, προσαρμοσμένων επιπέδων ισχύος εξόδου, τεχνολογιών αντιστοίχισης και λύσεων παρακολούθησης θερμοκρασίας οπτικών ινών που σας επιτρέπουν πραγματικά να ελέγχετε καλύτερα το πλάσμα διεργασίας.Ενσωματώνουμε επίσης το Fast DAQ™ και τη σουίτα απόκτησης δεδομένων και προσβασιμότητας για να παρέχουμε πληροφορίες για τη διαδικασία και να επιταχύνουμε τη διαδικασία ανάπτυξης.
Μάθετε περισσότερα για τις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών μας για να βρείτε τη λύση που ταιριάζει στις ανάγκες σας.
Η πρόκληση σας
Από φιλμ που χρησιμοποιούνται για μοτίβο διαστάσεων ολοκληρωμένων κυκλωμάτων έως αγώγιμα και μονωτικά φιλμ (ηλεκτρικές δομές), έως μεταλλικές μεμβράνες (διασύνδεση), οι διαδικασίες εναπόθεσης απαιτούν έλεγχο ατομικού επιπέδου — όχι μόνο για κάθε χαρακτηριστικό αλλά σε ολόκληρο το πλακίδιο.
Πέρα από την ίδια τη δομή, οι αποτιθέμενες ταινίες σας πρέπει να είναι υψηλής ποιότητας.Πρέπει να διαθέτουν την επιθυμητή δομή κόκκων, ομοιομορφία και ομοιόμορφο πάχος και να είναι χωρίς κενά — και αυτό επιπλέον παρέχει τις απαιτούμενες μηχανικές τάσεις (θλιπτικές και εφελκυστικές) και ηλεκτρικές ιδιότητες.
Η πολυπλοκότητα συνεχίζει να αυξάνεται.Για να αντιμετωπιστούν οι περιορισμοί της λιθογραφίας (κόμβοι υπο-1X nm), οι αυτοευθυγραμμισμένες τεχνικές διπλού και τετραπλού σχεδίου απαιτούν τη διαδικασία εναπόθεσής σας να παράγει και να αναπαράγει το μοτίβο σε κάθε γκοφρέτα.
Η Λύση μας
Όταν αναπτύσσετε τις πιο κρίσιμες εφαρμογές εναπόθεσης και γεωμετρίες συσκευών, χρειάζεστε έναν αξιόπιστο ηγέτη στην αγορά.
Η παροχή ισχύος ραδιοσυχνοτήτων και η τεχνολογία αντιστοίχισης υψηλής ταχύτητας της Advanced Energy σάς επιτρέπουν να προσαρμόσετε και να βελτιστοποιήσετε την ακρίβεια ισχύος, την ακρίβεια, την ταχύτητα και την επαναληψιμότητα της διαδικασίας που απαιτούνται για όλες τις προηγμένες διαδικασίες εναπόθεσης PECVD και PEALD.
Χρησιμοποιήστε την τεχνολογία γεννήτριας συνεχούς ρεύματος για να ρυθμίσετε με ακρίβεια τις διαμορφώσιμες διαδικασίες απόκρισης τόξου, την ακρίβεια ισχύος, την ταχύτητα και την επαναληψιμότητα της διαδικασίας που απαιτούνται PVD (sputtering) και τις διαδικασίες εναπόθεσης ECD.
Οφέλη
● Η βελτιωμένη σταθερότητα πλάσματος και η επαναληψιμότητα της διαδικασίας αυξάνουν την απόδοση
● Η ακριβής παροχή RF και DC με πλήρη ψηφιακό έλεγχο συμβάλλει στη βελτιστοποίηση της αποτελεσματικότητας της διαδικασίας
● Γρήγορη απόκριση σε αλλαγές πλάσματος και διαχείριση τόξου
● Ο παλμός πολλαπλών επιπέδων με προσαρμοστικό συντονισμό συχνότητας βελτιώνει την επιλεκτικότητα του ρυθμού χάραξης
● Διατίθεται παγκόσμια υποστήριξη για τη διασφάλιση του μέγιστου χρόνου λειτουργίας και της απόδοσης του προϊόντος