Τροφοδοτικό μεσαίας συχνότητας Sputtering σειράς MSB
-
Τροφοδοτικό μεσαίας συχνότητας Sputtering σειράς MSB
Το τροφοδοτικό RF της σειράς RHH βασίζεται στην ώριμη τεχνολογία παραγωγής ραδιοσυχνοτήτων για να παρέχει στους πελάτες τροφοδοτικό RF με μεγαλύτερη ισχύ, μεγαλύτερη ακρίβεια και γρήγορη απόκριση.Με τη φάση μπορεί να ρυθμιστεί, ελεγχόμενος παλμός, ψηφιακός συντονισμός και άλλες λειτουργίες.Εφαρμοστέοι τομείς: βιομηχανία φωτοβολταϊκών, βιομηχανία επίπεδων οθονών, βιομηχανία ημιαγωγών, χημική βιομηχανία, εργαστήριο, επιστημονική έρευνα, μεταποίηση κ.λπ.
Εφαρμοστέες διεργασίες: ενισχυμένη χημική εναπόθεση ατμών πλάσματος (PECVD), χάραξη πλάσματος, καθαρισμός πλάσματος, πηγή ιόντων ραδιοσυχνοτήτων, διάχυση πλάσματος, διασκορπισμός πολυμερισμού πλάσματος, αντιδραστική ψεκασμός κ.λπ.