Τροφοδοτικό μεσαίας συχνότητας Sputtering σειράς MSB

Σύντομη περιγραφή:

Το τροφοδοτικό RF της σειράς RHH βασίζεται στην ώριμη τεχνολογία παραγωγής ραδιοσυχνοτήτων για να παρέχει στους πελάτες τροφοδοτικό RF με μεγαλύτερη ισχύ, μεγαλύτερη ακρίβεια και γρήγορη απόκριση.Με τη φάση μπορεί να ρυθμιστεί, ελεγχόμενος παλμός, ψηφιακός συντονισμός και άλλες λειτουργίες.Εφαρμοστέοι τομείς: βιομηχανία φωτοβολταϊκών, βιομηχανία επίπεδων οθονών, βιομηχανία ημιαγωγών, χημική βιομηχανία, εργαστήριο, επιστημονική έρευνα, μεταποίηση κ.λπ.

Εφαρμοστέες διεργασίες: ενισχυμένη χημική εναπόθεση ατμών πλάσματος (PECVD), χάραξη πλάσματος, καθαρισμός πλάσματος, πηγή ιόντων ραδιοσυχνοτήτων, διάχυση πλάσματος, διασκορπισμός πολυμερισμού πλάσματος, αντιδραστική ψεκασμός κ.λπ.

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Στείλτε μας email

Χαρακτηριστικά

● Στυλ τοποθέτησης με μισό τούβλο και ράφι

● Υιοθετήστε τον πλήρη ψηφιακό έλεγχο, με βολικό και πλούσιο μενού λειτουργίας

● Λειτουργίες συντονισμού συχνότητας, παλμού και συγχρονισμού παλμών

● Με λειτουργία συγχρονισμού φάσης CEX

● Τέλεια λειτουργία προστασίας

Λεπτομέρεια προϊόντος

Εισαγωγή	Τάση εισόδου: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Οι ειδικές προδιαγραφές μπορούν να προσαρμοστούν)
Εισαγωγή	Συχνότητα εισόδου: 47~63Hz
Παραγωγή	Συχνότητα εξόδου: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Εύρος συντονισμού: ±5%
	Ισχύς εξόδου: 1,5~5kW
	Εύρος ρύθμισης ισχύος εξόδου: 1~100%
	Αντίσταση εξόδου: 50Ω+j0
	Διεπαφή εξόδου: τύπος N
	Λειτουργία εξόδου: συνεχής, παλμική
	Συχνότητα παλμού: 100Hz~100kHz
	Κύκλος λειτουργίας: 5~95%
Δείκτης απόδοσης	Συντελεστής ισχύος: 0,98
	Ακρίβεια σταθερότητας συχνότητας: ±0,005%
	Απόδοση: 75% (στην ονομαστική απόδοση)
	Αρμονική: ＜-45dBc
	Αδέσποτος: ＜-50dBc
	Διεπαφή εξωτερικού ελέγχου: αναλογική ποσότητα, επικοινωνία και συγχρονισμός
	Λειτουργία επικοινωνίας: Τυπική διεπαφή επικοινωνίας RS485.Προαιρετικό Ether CAT, βιομηχανικό Ethernet κ.λπ.
Σημείωση: το προϊόν συνεχίζει να καινοτομεί και η απόδοση συνεχίζει να βελτιώνεται.Αυτή η περιγραφή παραμέτρων είναι μόνο για αναφορά.