Τροφοδοτικό τροφοδοτικού με ψεκασμό μέσης συχνότητας σειράς MSB

Προτεινόμενη εικόνα τροφοδοτικού με ψεκασμό μέσης συχνότητας σειράς MSB

Σύντομη Περιγραφή:

Το τροφοδοτικό RF της σειράς RHH βασίζεται σε ώριμη τεχνολογία παραγωγής RF για να παρέχει στους πελάτες τροφοδοτικό RF με μεγαλύτερη ισχύ, υψηλότερη ακρίβεια και γρήγορη απόκριση. Με δυνατότητα ρύθμισης φάσης, έλεγχο παλμών, ψηφιακό συντονισμό και άλλες λειτουργίες. Εφαρμοστέοι τομείς: φωτοβολταϊκή βιομηχανία, βιομηχανία επίπεδων οθονών, βιομηχανία ημιαγωγών, χημική βιομηχανία, εργαστήριο, επιστημονική έρευνα, κατασκευή κ.λπ.

Εφαρμοστέες διεργασίες: εναπόθεση χημικών ατμών με ενίσχυση πλάσματος (PECVD), χάραξη πλάσματος, καθαρισμός πλάσματος, πηγή ιόντων ραδιοσυχνοτήτων, διάχυση πλάσματος, ψεκασμός πολυμερισμού πλάσματος, αντιδραστικός ψεκασμός κ.λπ.

Λεπτομέρειες προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Στείλτε μας email

Χαρακτηριστικά

● Στυλ με μισό τούβλο και τοποθέτηση σε rack

● Υιοθετήστε πλήρη ψηφιακό έλεγχο, με βολικό και πλούσιο μενού λειτουργίας

● Συντονισμός συχνότητας, λειτουργίες παλμού και συγχρονισμού παλμών

● Με λειτουργία συγχρονισμού φάσης CEX

● Τέλεια λειτουργία προστασίας

Λεπτομέρειες προϊόντος

Εισαγωγή	Τάση εισόδου: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Οι ειδικές προδιαγραφές μπορούν να προσαρμοστούν)
Εισαγωγή	Συχνότητα εισόδου: 47~63Hz
Παραγωγή	Συχνότητα εξόδου: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Εύρος συντονισμού: ±5%
	Ισχύς εξόδου: 1,5~5kW
	Εύρος ρύθμισης ισχύος εξόδου: 1~100%
	Αντίσταση εξόδου: 50Ω+j0
	Διεπαφή εξόδου: τύπος N
	Λειτουργία εξόδου: συνεχής, παλμική
	Συχνότητα παλμού: 100Hz~100kHz
	Κύκλος λειτουργίας: 5~95%
Δείκτης απόδοσης	Συντελεστής ισχύος: 0,98
	Ακρίβεια σταθερότητας συχνότητας: ±0,005%
	Απόδοση: 75% (στην ονομαστική ισχύ εξόδου)
	Αρμονική: <-45dBc
	Αδέσποτη: <-50dBc
	Εξωτερική διεπαφή ελέγχου: αναλογική ποσότητα, επικοινωνία και συγχρονισμός
	Τρόπος επικοινωνίας: Τυποποιημένη διεπαφή επικοινωνίας RS485. Προαιρετική Ether CAT, βιομηχανικό Ethernet, κ.λπ.
Σημείωση: το προϊόν συνεχίζει να καινοτομεί και η απόδοση συνεχίζει να βελτιώνεται. Αυτή η περιγραφή παραμέτρου είναι μόνο για αναφορά.