Ο ελεγκτής ισχύος της σειράς TPM5 υιοθετεί την ιδέα σχεδιασμού της μονάδας και ενσωματώνει έως και 6 κυκλώματα στο εσωτερικό.Τα προϊόντα χρησιμοποιούνται κυρίως σε κλιβάνους διάχυσης, PECVD, κλιβάνους επιταξίας κ.λπ.